Fotolitografie se běžně používá k výrobě počítačových čipů. Při výrobě počítačových čipů je materiálem substrátu křemíkový plátek pokrytý rezistem. Tento proces umožňuje současně postavit stovky čipů na jediném křemíkovém plátku.
Jak se provádí fotolitografie?
Fotolitografie využívá tři základní procesní kroky k přenosu vzoru z masky na plátek: natírání, vyvolávání, exponování. Vzor je přenesen do povrchové vrstvy oplatky během následného procesu. V některých případech lze vzor rezistu použít také k definování vzoru pro nanesený tenký film.
Proč se tomu říká fotolitografie?
Polovodičová litografie (fotitografie) - Základní proces . Výroba integrovaného obvodu (IC) vyžaduje různé fyzikální a chemické procesy prováděné na polovodičovém (např. křemíkovém) substrátu. … Slovo litografie pochází z řeckého lithos, což znamená kameny, a graphia, což znamená psát.
Proč je litografie důležitá?
Litografie je proces přenosu vzorů geometrických tvarů v masce na tenkou vrstvu materiálu citlivého na záření (nazývaného rezist) pokrývající povrch polovodičového plátku. Obrázek 5.1 schematicky znázorňuje litografický proces používaný při výrobě IC.
Jaká je nejpoužívanější metoda v litografických metodách?
Optickélitografie je technika založená na fotonech, která se skládá z promítání obrazu do fotocitlivé emulze (fotorezistu) nanesené na substrát, jako je křemíkový plátek. Je to nejrozšířenější litografický proces ve velkoobjemové výrobě nanoelektroniky v polovodičovém průmyslu.
