Fotolitografie je proces používaný v mikrovýrobě k přenosu geometrických vzorů na film nebo substrát. Geometrické tvary a vzory na polovodiči tvoří složité struktury, které umožňují dotovacím přísadám, elektrickým vlastnostem a drátům dokončit obvod a splnit technologický účel.
Jaký je proces fotolitografie?
Fotolitografie, také nazývaná optická litografie nebo UV litografie, je proces používaný v mikrovýrobě k vzorování dílů na tenké vrstvě nebo na velké části substrátu (nazývané také wafer). … Ve složitých integrovaných obvodech může plátek CMOS projít fotolitografickým cyklem až 50krát.
Jaký je proces mikrovýroby?
Mikrovýroba je proces výroby miniaturních struktur mikrometrových měřítek a menších. … Hlavními koncepty a principy mikrovýroby jsou mikrolitografie, doping, tenké filmy, leptání, lepení a leštění.
Co je to litografický proces v polovodičích?
Polovodičový litografický systém provádí proces, při kterém jsou vysoce složité obvodové vzory nakreslené na fotomasce vyrobené z velké skleněné desky redukovány pomocí ultravýkonných čoček a exponovány na křemíkový substrát známý jakooplatka. …
Co je litografie ve výrobním procesu?
Litografie jeproces přenosu vzorů geometrických tvarů v masce na tenkou vrstvu materiálu citlivého na záření (nazývaného rezist) pokrývající povrch polovodičové destičky. Obrázek 5.1 schematicky znázorňuje litografický proces používaný při výrobě IC.
