Který z následujících NEJLEPŠÍCH popisuje proces fotolitografie? A. Procesní krok, který přenáší vzor do podkladové vrstvy nebo objemu substrátu. … Procesní krok, který definuje a přenese vzor do vrstvy rezistu na waferu.
Co je proces fotolitografie?
Fotolitografie je proces přenosu geometrických tvarů na masce na povrch křemíkového plátku. Kroky zahrnuté ve fotolitografickém procesu jsou čištění plátků; vytvoření bariérové vrstvy; aplikace fotorezistu; měkké pečení; vyrovnání masky; expozice a vývoj; a pečení na tvrdo.
Jaké jsou tři 3 základní kroky procesu fotolitografie?
Fotolitografie využívá tři základní procesní kroky k přenosu vzoru z masky na plátek: natírání, vyvolávání, exponování. Vzor je přenesen do povrchové vrstvy plátku během následného procesu.
Co je fotolitografie popsána na příkladu?
1: litografie, ve které se používají fotograficky připravené desky. 2: proces zahrnující fotografický přenos vzoru na povrch pro leptání (jako při výrobě integrovaného obvodu) Další slova z fotolitografie Příklad vět Další informace o fotolitografii.
Jaké jsou požadavky na fotolitografii?
Obecně platí, že aproces fotolitografie vyžaduje tři základní materiály, světelný zdroj, fotografickou masku a fotorezist. Fotorezist, fotocitlivý materiál, má dva typy, pozitivní a negativní. Pozitivní fotorezist se stává rozpustnějším po vystavení světelnému zdroji.