Fotolitografie se běžně používá k výrobě počítačových čipů. Při výrobě počítačových čipů je materiálem substrátu křemíkový plátek pokrytý rezistem. Tento proces umožňuje současně postavit stovky čipů na jediném křemíkovém plátku.
Jak se provádí fotolitografie?
Fotolitografie využívá tři základní procesní kroky k přenosu vzoru z masky na plátek: natírání, vyvolávání, exponování. Vzor je přenesen do povrchové vrstvy oplatky během následného procesu. V některých případech lze vzor rezistu použít také k definování vzoru pro nanesený tenký film.
Co je fotolitografie a jak funguje?
Fotolitografie je proces vzorování, při kterém je fotosenzitivní polymer selektivně vystaven světlu přes masku, přičemž v polymeru zanechává latentní obraz, který lze poté selektivně rozpustit a vytvořit vzor přístup k podkladovému substrátu.
Co je fotolitografie a jak se používá k implementaci tranzistorů?
Používá světlo k přenosu geometrického vzoru z fotomasky (nazývané také optická maska) na fotocitlivý (tj. na světlo citlivý) chemický fotorezist na substrátu. … Poskytuje přesnou kontrolu nad tvarem a velikostí objektů, které vytváří, a dokáže vytvářet vzory na celém povrchu, a to cenově výhodně.
Proč se tomu říká fotolitografie?
Polovodičová litografie(Fotolitografie) - Základní proces . Výroba integrovaného obvodu (IC) vyžaduje různé fyzikální a chemické procesy prováděné na polovodičovém (např. křemíkovém) substrátu. … Slovo litografie pochází z řeckého lithos, což znamená kameny, a graphia, což znamená psát.
