V případě polovodičové litografie (také nazývané fotolitografie) jsou naše kameny silicon destičky a naše vzory jsou napsány polymerem citlivým na světlo zvaným fotorezist.
Co myslíš tou fotolitografií?
Fotolitografie, také nazývaná optická litografie nebo UV litografie, je proces používaný v mikrovýrobě k vzorování dílů na tenké vrstvě nebo na velké části substrátu (také nazývané wafer). … Tato metoda dokáže vytvořit extrémně malé vzory o velikosti až několika desítek nanometrů.
Proč se litografie používá při výrobě polovodičů?
Fotolitografie je proces používaný v mikrovýrobě k přenosu geometrických vzorů na film nebo substrát. Geometrické tvary a vzory na polovodiči tvoří složité struktury, které umožňují dotovacím přísadám, elektrickým vlastnostem a drátům dokončit obvod a splnit technologický účel.
Jaký je účel fotolitografie?
Fotolitografie je jednou z nejdůležitějších a nejjednodušších metod mikrovýroby a používá se k vytváření detailních vzorů v materiálu. Při této metodě lze tvar nebo vzor vyleptat prostřednictvím selektivní expozice polymeru citlivého na světlo ultrafialovému světlu.
Co je zařízení pro polovodičovou litografii?
Zařízení pro polovodičovou litografii se používá ve fázi expozice polovodičového čipuvýrobní proces. … Zařízení pro polovodičovou litografii používá projekční čočku ke zmenšení vzoru obvodu, který je napsán na originální destičce zvané nitkový kříž, a vystavení vzoru na destičku.
