Při nevyváženém magnetronovém rozprašování je plazma také vytahována nahoru do substrátu a ionty argonu také bombardují rostoucí tenký film. …Přítomnost elektronů kolem substrátu vede k ionizaci atomů neutrálního plynu a pronikání plazmatu do této oblasti.
Proč magnetron prská?
Magnetronové naprašování využívá uzavřené magnetické pole k zachycení elektronů, čímž se zvyšuje účinnost počátečního ionizačního procesu a vytváří se plazma při nižších tlacích, čímž se omezuje začleňování plynu do pozadí při růstu ztráty filmu a energie v rozprášeném atomu v důsledku srážek plynů.
Co lze použít pro magnetronové naprašování?
5 Nanášení magnetronovým naprašováním. Magnetronové naprašování je vysokorychlostní vakuová nanášecí technika, která umožňuje nanášení mnoha typů materiálů, včetně kovů a keramiky, na tolik typů substrátových materiálů pomocí speciálně vytvořeného magnetického pole aplikované na diodový rozprašovací terč.
Co je to uzavřené pole nevyvážené magnetronové rozprašování?
Systém nevyváženého magnetronového naprašovacího iontového pokovování s uzavřeným polem, vyvinutý společností Teer Coatings Ltd, vytváří optimalizované podmínky nanášení umožňující nanášení hustých, tvrdých povlaků s vynikající přilnavostí. Ujednání CFUBMSIP je kryto patenty udělenými společnosti Teer Coatings Ltd.
Co je nevyvážený magnetron?
Magnetrony jsou běžně klasifikovány jako „vyvážené“nebo „nevyvážené“. … Pokud je nulový bod blízko cílového povrchu, mohou elektrony snáze uniknout a magnetron je nevyvážený. Nevyvážené konstrukce mohou způsobit silné ostřelování tenkého filmu ionty současně s depozicí.